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*. 项目名称：基于压电单晶的高频谐振器加工
*.成交供应商名称：北京中科飞鸿科技股份有限公司
*.成交供应商地址：北京市海淀区银桦路**号
*.成交金额(币种)：**.***万元
*. 付款方式：服务完成且验收合格后*个工作日之内付合同金额***%。
*.主要成交标的：
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序号 |
服务内容 |
服务期限 |
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******-*.****谐振器加工： 选定晶向、匀胶曝光、制备金属膜、光刻套刻、金属膜增厚、划片、晶圆背面镀膜 |
合同签订之日起**日 |
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**复合晶圆-*.****谐振器加工： 选定晶向、匀胶曝光、制备金属膜、光刻套刻、金属膜增厚、划片 |
合同签订之日起**日 |
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**复合晶圆-*.****谐振器加工： 选定晶向、匀胶曝光、制备金属膜、光刻套刻、金属膜增厚、划片、生长****、***抛光 |
合同签订之日起**日 |
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**复合晶圆-****谐振器加工： 选定晶向、匀胶曝光、制备金属膜、光刻套刻、金属膜增厚、划片、生长****、***抛光
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合同签订之日起**日 |
华中科技大学集成电路学院
****年**月**日
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