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*. 项目名称：**铁电晶体管阵列加工
*.成交供应商名称：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
*.成交供应商地址：苏州工业园区若水路***号
*.成交金额(币种)：**.***万元
*. 付款方式： 合同签订后*个工作日之内预付合同金额的**%，服务结束且验收合格后付合同金额**%。
*.主要成交标的：
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序号 |
服务内容 |
服务期限 |
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离子注入加工 |
****年*月*日至*月*日 |
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等离子增强原子层沉积 |
****年*月*日至*月*日 |
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华中科技大学集成电路学院
****年**月**日
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